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KS-41A/B光刻膠顆粒測試儀

簡要描述:

寬廣的測試范圍,可測試0.1~0.5um之間的顆粒只需要小小的樣品取樣量就可以得到高效率高精準的顆粒數據。0.1µm,針對光刻膠測試機型,高準確度,低流量

更新時間:2019-11-29

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測試粒徑:≧0.1µm,≧0.15µm,≧0.2µm,≧0.3µm,≧0.5µm
測試流速: 5 ml/min
最大濃度: 9600 pcs/mL 
電源需求: DC12V (Supplied by KE-40B1)
機臺尺寸: 164 (H) x 464 (W) x 305 (D) mm (excl. protruding parts), 重量: 12.5 公斤

  • 可偵測到最小粒徑0.1um的粒子(KS-41B)
  • 可自行設定的粒徑范圍0.1~0.5um(KS-41B),通過KE-40B1的控制器可擴充至10個通道

出廠設定為4通道: 0.15 / 0.2 / 0.3 / 0.5um(KS-41A)

              5通道:0.1 /0.15 / 0.2 / 0.3 / 0.5um(KS-41B)

  • 綜合泄漏傳感器與報警輸出
  • 產品描述

       

    光散射法

           

    鐳射二極管(波長830nm,輸出功率:200Mw

       

    Class1,IEC 60825-1

       

    PIN type photodiode

    與樣品接觸部件材質

    KS-41: 石英、PFA、PTFE

     

    可測試樣品種類

    任何不會腐蝕接觸樣品部件材質的液體

           

    PSL 標準液(粒徑在1.6

       

    0.1 /0.15 / 0.2 / 0.3 / 0.5umKS-41B)

    通道(出廠設定)

     0.15 / 0.2 / 0.3 / 0.5umKS-41A)

        

    0.1~0.5umKS-41B) (可自行擴充至10個通道)

    0.15~0.5umKS-41A) (可自行擴充至10個通道)

       

    70%~110%

         

    10mL/min

    可測試粒子濃度

    1200/mL

    樣品溫度范圍

    15~35 (毛細管內無凝固、無結露)

    樣品測試壓力范圍

    不超過300kPa (表壓)

       

    2(直徑)*4(直徑)管路

    氣體清洗裝置

    Rc1/8 ( 1/8PT female screw)

    數據傳輸及操作界面

    傳輸至KE-40B1,直接觸摸屏操作無需外接電腦

    數據輸出方式

    內置打印機/記憶卡存儲

    泄露告警轉換

    正常測試時告警端口短路,打開檢測內部泄露

            

    DC 12V (由KE-40B1提供)

    測試環境條件

    15~35,濕度不超過85%(無結露)

    尺寸 & 重量

    160(H)*300(W)*250(D)mm (不含突出部分)

    約7.5kg

       

    管路配件組合 *1,訊號線(1m)*1,電源線*1

           

    訊號線 B (5m) KS-41

     

    KE-40B1 控制器

     

    顯示接口:

    粒徑區分:最大10個粒徑  

    計數值:頁面同時最大顯示8個粒徑

    操作:觸摸屏

    測試:

    測試時間:2~2小時 (手動)

    測試模式:手動測試、平均值測試、循環測試、定時測試

    警報: 針對粒徑選擇,計數值的particle 超過所設的上限值而產生警訊 由機臺背面 ALARM輸出端子短路  (輸入最大負荷電流 DC 30V  1A)

    通訊方式:RS-232

    數據輸出:內建式打印機、連接計算機、CF記憶卡

    紀錄紙:感熱紀錄紙(TP-08)  無塵感熱紀錄紙(TP-08)

    電源:AC100V~240V 50/60Hz, 75VA

    尺寸:140(H)*240(W)*150(D)mm  

    重量:3.8kg

     

    KZ-31W 取樣器

     

    適用控制器型號:KE-40B1,KE-40B,KE-40

    取樣針筒尺寸:25mL PP (原廠標配),25Ml 玻璃(客戶選配)

    接觸樣品部件材質:PCTFE, PTFE, PFA, PP

    可測試樣品:不會腐蝕部件的液體

    清洗模式:

    流速:5~100mL/min ,誤差值:1mL/min

    容量:0~25mL ,誤差值:0.5mL

    可重復測試次數:1~99次

    測試模式:

    流速:5~100mL/min,誤差值:1mL/min

    容量:0~25mL,誤差值:0.5mL

    前置量:0~10mL

    可重復測試次數:1~99次

    組合模式下測試的次數:2~10次

    顯示:Segment type LCD

    測試環境要求:5~40,濕度不超過85%(無結露)

    樣品溫度范圍:5~40

    儲存溫度及濕度范圍:-10℃~50℃,濕度不超過85%(無結露)

    電源:100~240V AC+10%  50/60Hz, 約 50VA

    尺寸和重量:約 345(H)*141(W)*215(D)mm,約:5.5kg

    出廠標配:PFA 管 * 2、25mL PP取樣針筒*1、電源線*1       

 

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